布局設(shè)置：

1、左側(cè)花灑，右側(cè)水槍。

2、QDR用4寸使用時(shí)配置一個(gè)小支撐。

3、CASS是在滿水溢流頁(yè)面2cm下。

4、水溢流有閥門(mén)可控，并加裝流量計(jì)，調(diào)節(jié)時(shí)可直觀目視流量。

二、主要結(jié)構(gòu)特征和工藝說(shuō)明

2.1 結(jié)構(gòu)特征：

2.1.1無(wú)接觸式晶圓下片機(jī)主要由主軸旋轉(zhuǎn)部分，片盒夾具，工作腔，機(jī)架，門(mén)蓋部分，QDR槽，潔凈管路部分， 電氣控制等組成。

2.1.2外殼材質(zhì)： 進(jìn)口 PP 板外殼。

2.1.3旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)為端面支撐， 縮短傳動(dòng)軸長(zhǎng)度， 并經(jīng)精密的動(dòng)平衡處理， 減少設(shè)備共振等

2.1.4采用專(zhuān)用步進(jìn)電機(jī)及控制器， 保證設(shè)備的穩(wěn)定、 可靠及滿足系統(tǒng)對(duì)潔凈度處理的要求。

2.1.5管路系統(tǒng)： PFA 潔凈管路。

2.2 工作臺(tái)及載體：

2.2.1工作臺(tái)數(shù)量∶ 1 個(gè) 材質(zhì)為 PP 板 ，支持陶瓷盤(pán)外徑 485mm（需更換夾具） 。

2.2.2規(guī)格∶ 加工尺寸 2-6 英寸。

2.3 純水控制單元：

2.3.1采用旋流式?jīng)_洗噴嘴。

2.3.2管路采用 PFA 潔凈管路。

2.4 電控單元及軟件系統(tǒng)：

2.4.1甩干工藝過(guò)程由 PLC 控制器+觸摸屏控制， 可選擇設(shè)置多種用戶(hù)工藝菜單， 并對(duì)每 個(gè)。

2.4.2菜單的內(nèi)容如： 時(shí)間、 速度參數(shù)進(jìn)行設(shè)置。

2.4.3系統(tǒng)軟件還具有密碼權(quán)限設(shè)置， 故障顯示及報(bào)警功能。 設(shè)備出現(xiàn)故障時(shí)， 系統(tǒng)會(huì)停止。

2.4.4工作并顯示錯(cuò)誤信息、 報(bào)警以提示更改和維修。

2.5 工藝說(shuō)明：

2.5.1通過(guò)手動(dòng)方式實(shí)現(xiàn)放件和取件操作，具體步驟如下：

2.5.2?放置晶圓?：操作員將待清洗的晶圓手動(dòng)放置在陶瓷盤(pán)上。

2.5.3?啟動(dòng)清洗程序?：設(shè)置清洗參數(shù)，啟動(dòng)清洗程序。

2.5.4?清洗過(guò)程?：設(shè)備自動(dòng)完成晶圓的沖洗和干燥。

2.5.5?取出晶圓?：清洗完成后，操作員手動(dòng)取出已清洗的晶圓。

三、主要技術(shù)參數(shù)