FFU凈化臺(tái)

模塊化風(fēng)機(jī)過(guò)濾單元（Fan Filter Unit）系統(tǒng)，搭載H14級(jí)HEPA高效過(guò)濾器，單機(jī)凈化效率達(dá)99.995%@0.3μm。采用直流無(wú)刷電機(jī)驅(qū)動(dòng)，噪音值≤55dB，支持多臺(tái)聯(lián)機(jī)構(gòu)建潔凈室環(huán)境。智能壓差監(jiān)測(cè)系統(tǒng)可實(shí)時(shí)顯示濾網(wǎng)壽命，適用于半導(dǎo)體制造、PCR實(shí)驗(yàn)室等對(duì)空氣潔凈度要求嚴(yán)格的場(chǎng)景。

可搭配：?jiǎn)纹A甩干機(jī)，單片晶圓清洗臺(tái)，單片晶圓刻蝕機(jī)等。